000 00446 a2200169 4500
999 _c37543
_d37543
003 WUSLLib
008 200907b ||||| |||| 00| 0 eng d
041 _aEnglish
082 _a621
_bFAT
100 _aFatikow, S.
_916522
245 _aMicrosystem technology and microrobotics
260 _aNew York:
_bSpringer,
_c1997
300 _axii, 408p.;
_c24cm.
650 _aApplied physics
_916523
700 _aRembold, U.
_916524
942 _cSR
_2ddc